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发明名称 TEILCHENQUELLE FUER EINE REAKTIVE IONENSTRAHLAETZ- ODER PLASMADEPOSITIONSANLAGE
摘要
申请公布号 DE3803355(A1) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 DE19883803355 申请日期 1988.02.05
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 KATZSCHNER, WERNER, DIPL.-ING., 8752 KLEINKAHL, DE;EICHHOLZ, STEFAN, DIPL.-ING., 2300 KIEL, DE;GEISLER, MICHAEL, DIPL.-ING. DR., 6480 WAECHTERSBACH, DE;JUNG, MICHAEL, 8756 KAHL, DE
分类号 H05H1/18;C23F4/00;H01J37/08;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H05H1/18
代理机构 代理人
主权项
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