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发明名称 OPTISCHE OBERFLAECHENINSPEKTIONSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3803181(A1) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 DE19883803181 申请日期 1988.02.03
申请人 ERWIN SICK GMBH OPTIK-ELEKTRONIK, 7808 WALDKIRCH, DE 发明人 BALLER, WILFRIED, DIPL.-PHYS., 8011 GRASBRUNN, DE;GRIEGER, IRIS, DIPL.-PHYS. DR.RER.NAT. DR., 8000 MUENCHEN, DE;HOFFMANN, PAUL, 800 MUENCHEN, DE
分类号 G01N21/88;G01N21/21;G01N21/95 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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