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发明名称 CONTRACTION-TYPE X-RAY LITHOGRAPHIC APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01205528(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880031053 申请日期 1988.02.12
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MORIGAMI MITSUAKI;HARADA MITSUAKI;NISHINO JUNICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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