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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM OF TANTALUM OXIDE
摘要
申请公布号 JPH01205426(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880029696 申请日期 1988.02.10
申请人 HITACHI MAXELL LTD 发明人 UENAE KEIICHIRO;OIWA TSUNEMI
分类号 H01L21/316;H05B33/12;H05B33/22 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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