发明名称 WIRING METHOD FOR SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH01204478(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880028521 申请日期 1988.02.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SASAKI OSAMU;MEGURO KEN;SHIMIZU MASASHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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