发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01205416(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880029249 申请日期 1988.02.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 AKIMOTO MASAO;YOSHIKAWA HIDEKAZU
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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