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发明名称 GATE ELECTRODE OF MOS TYPE TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH01205468(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880030242 申请日期 1988.02.10
申请人 NEC CORP 发明人 KITAOKA NOBUYASU
分类号 H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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