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发明名称 APPARATUS FOR VAPOR PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH01205428(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880029256 申请日期 1988.02.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MARUYAMA KENJI
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/365 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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