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经营范围
发明名称
OXIDATION FURNACE
摘要
申请公布号
JPH01205425(A)
申请公布日期
1989.08.17
申请号
JP19880029335
申请日期
1988.02.10
申请人
TEL SAGAMI LTD
发明人
SUZUKI FUJIO
分类号
H01L21/31;H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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