| 发明名称 |
PRODUCTION OF SELF-ARRANGEMENT REFRACTORY GATE EQUIPPED WITH SELF-LIMIT UNDERCUT OF INJECTION MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01205086(A) |
申请公布日期 |
1989.08.17 |
| 申请号 |
JP19880324762 |
申请日期 |
1988.12.22 |
| 申请人 |
INTERNATL STANDARD ELECTRIC CORP |
发明人 |
MACHIYUU RII BARUZAN;AASAA YUUJIN GEISUBAAGAA;ROBAATO AREN SADORAA |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/285;H01L21/3213;H01L21/338;H01L21/8252;H01L29/47 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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