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发明名称 RESIST COATER
摘要
申请公布号 JPH01205422(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880029331 申请日期 1988.02.10
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MORIYAMA MASASHI
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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