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发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH01205518(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880031184 申请日期 1988.02.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 GOTO YUKIO;NAGAI YUTAKA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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