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发明名称
CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01203300(A)
申请公布日期
1989.08.16
申请号
JP19880026913
申请日期
1988.02.08
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAGAI YUTAKA
分类号
H01L21/208;C30B19/00;C30B25/02;C30B35/00;H01L21/205
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
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