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发明名称 NEGATIVE-TYPE RESIST SENSITIVE TO IONIZING RADIATION
摘要
申请公布号 EP0077057(B2) 申请公布日期 1989.08.16
申请号 EP19820109354 申请日期 1982.10.08
申请人 OGUCHI, KIYOSHI 发明人 OGATA, NAOYA;SANUI, KOHEI;AZUMA, CHIAKI;TANAKA, HOZUMI;OGUCHI, KIYOSHI;TAKAHASHI, YOICHI;NAKADA, TOMIHIRO
分类号 G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/10;C08F8/28 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
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