| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING HEAT TREATMENT WITH IMPROVEMENT OF REPRODUCIBILITY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01204114(A) |
申请公布日期 |
1989.08.16 |
| 申请号 |
JP19880028262 |
申请日期 |
1988.02.09 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
CHIBA TAKATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/26;C30B31/12;C30B31/18;F27B17/00;G05D23/00;G05D23/19;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
