发明名称 SECONDARY ION MASS SPECTROMETER
摘要
申请公布号 JPH01204349(A) 申请公布日期 1989.08.16
申请号 JP19880027475 申请日期 1988.02.10
申请人 NEC CORP 发明人 KAMESHIMA YASUBUMI
分类号 H01J49/06;H01J49/14;H01J49/26 主分类号 H01J49/06
代理机构 代理人
主权项
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