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发明名称 INDIRECT HEAT TYPE SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH01202814(A) 申请公布日期 1989.08.15
申请号 JP19880026694 申请日期 1988.02.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOYAMA KENJI;TSUKUNE ATSUHIRO;NISHIMURA MASAHIDE
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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