Method and apparatus for controlling simultaneous etching of front and back sides of wafers,申请号US19880247712-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	Method and apparatus for controlling simultaneous etching of front and back sides of wafers
摘要
申请公布号	US4857142(A)	申请公布日期	1989.08.15
申请号	US19880247712	申请日期	1988.09.22
申请人	FSI INTERNATIONAL, INC.	发明人	SYVERSON, DANIEL J.
分类号	H01L21/302;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/311	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

МУЛЬТИЗИМЫ И ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В ПОЛУЧЕНИИ ПОЛИНЕНАСЫЩЕННЫХ ЖИРНЫХ КИСЛОТ

КОМПОЗИЦИЯ, СОДЕРЖАЩАЯ ХИТОЗАН, ГЛЮКОЗАМИН И АМИНОКИСЛОТЫ, ДЛЯ СЕЛЬСКОХОЗЯЙСТВЕННОГО ПРИМЕНЕНИЯ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ УХОДА ЗА КОЖЕЙ

УСТРОЙСТВО ОХЛАЖДЕНИЯ АРТИЛЛЕРИЙСКИХ СТВОЛОВ

СЛОЖНЫЕ ЭФИРЫ ДАБИГАТРАНА АМИДОКСИМА КАК ПРОЛЕКАРСТВА И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ В КАЧЕСТВЕ ФАРМАЦЕВТИЧЕСКИХ СРЕДСТВ

СПОСОБ И СИСТЕМА ДЛЯ ПОСТРОЕНИЯ МАЛОМОЩНОЙ КОМПЬЮТЕРНОЙ СИСТЕМЫ

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СИГНАЛОВ КВАДРАТУРНОЙ АМПЛИТУДНОЙ МАНИПУЛЯЦИИ

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ТРЕХМЕРНЫХ И СПЕКТРАЛЬНЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ МИКРООБЪЕКТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ ТЕКУЧИХ СРЕД МЕЖДУ СУДНОМ И ТУРЕЛЬЮ, УСТАНОВЛЕННОЙ НА ЭТОМ СУДНЕ

УСТАНОВКА ДЛЯ КОНДИЦИОНИРОВАНИЯ МЯСА

УСОВЕРШЕНСТВОВАННОЕ ФОРМОВАНИЕ И ОХЛАЖДЕНИЕ ЖЕВАТЕЛЬНОЙ РЕЗИНКИ

УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ТЕПЛОВЫХ РЕЖИМОВ СИЛОВЫХ МОДУЛЕЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ

СИСТЕМА ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА И РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ ПО ЭЛЕКТРОСЕТИ И СВЯЗАННЫЙ С НЕЙ СПОСОБ ОПТИМИЗАЦИИ

ПАССАЖИРСКИЙ МОДУЛЬ КОЛЕСА ОБОЗРЕНИЯ (ВАРИАНТЫ)

МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ЗУБНАЯ ПАСТА

ВЕШАЛКА ДЛЯ ОДЕЖДЫ, ПРИСПОСОБЛЕННАЯ ДЛЯ КРЕПЛЕНИЯ НА ВЕРТИКАЛЬНУЮ ПОВЕРХНОСТЬ

МАГНИТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ АКТИВАТОР ТОПЛИВА

ПОМЕЩЕНИЕ В АМФИБИЙНОМ ТРАНСПОРТНОМ АППАРАТЕ ДЛЯ РАЗМЕЩЕНИЯ ПОСТРАДАВШИХ В ЧРЕЗВЫЧАЙНЫХ СИТУАЦИЯХ РЕГИОНАЛЬНОГО МАСШТАБА

ПАКЕР РАЗБУРИВАЕМЫЙ С ПОСАДОЧНЫМ ИНСТРУМЕНТОМ

Therapeutic indications of kinase inhibitors