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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01202847(A) 申请公布日期 1989.08.15
申请号 JP19880028004 申请日期 1988.02.08
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUKURA TAKUMI
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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