发明名称 CHARGE BEAM LITHOGRAPHY EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01201919(A) 申请公布日期 1989.08.14
申请号 JP19880026386 申请日期 1988.02.05
申请人 JEOL LTD 发明人 ISOBE MORIYUKI;KOMAGATA TADASHI
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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