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经营范围
发明名称
CHARGE BEAM LITHOGRAPHY EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH01201919(A)
申请公布日期
1989.08.14
申请号
JP19880026386
申请日期
1988.02.05
申请人
JEOL LTD
发明人
ISOBE MORIYUKI;KOMAGATA TADASHI
分类号
H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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