发明名称 |
MANUFACTURE OF MOS FIELD EFFECT TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01201961(A) |
申请公布日期 |
1989.08.14 |
申请号 |
JP19880026146 |
申请日期 |
1988.02.05 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
IMAHASHI MANABU;OSAKABE AKIHIKO |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/324;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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