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经营范围
发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01200623(A) 申请公布日期 1989.08.11
申请号 JP19880024970 申请日期 1988.02.05
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SAKAMOTO SHINGO
分类号 B05C5/00;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
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