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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01200673(A) 申请公布日期 1989.08.11
申请号 JP19880025375 申请日期 1988.02.05
申请人 SONY CORP 发明人 NOGUCHI TAKASHI
分类号 H01L21/20;H01L21/22;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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