| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EXPOSURE AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01199428(A) |
申请公布日期 |
1989.08.10 |
| 申请号 |
JP19880022795 |
申请日期 |
1988.02.04 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YASUDA HIROSHI;KAI JUNICHI;MIYAGI SHINJI;TAKAHASHI YASUSHI |
| 分类号 |
G03F9/00;G03F7/20;H01J37/302;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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