| 发明名称 |
FORMATION OF DEPOSITED FILM BY MICROWAVE PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01198480(A) |
申请公布日期 |
1989.08.10 |
| 申请号 |
JP19880021799 |
申请日期 |
1988.02.01 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MURAKAMI TSUTOMU;KANAI MASAHIRO;KAWAKAMI SOICHIRO;ARAI TAKASHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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