发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01199469(A) 申请公布日期 1989.08.10
申请号 JP19880022803 申请日期 1988.02.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OGINO MASANOBU
分类号 H01L29/68;H01L21/18;H01L21/322;H01L21/331;H01L21/332;H01L29/32;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/749;H01L29/78 主分类号 H01L29/68
代理机构 代理人
主权项
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