| 发明名称 |
EINRICHTUNG FUER PROJEKTIONSGERAETE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT388628(B) |
申请公布日期 |
1989.08.10 |
| 申请号 |
AT19860000237 |
申请日期 |
1986.01.31 |
| 申请人 |
IMS IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GESELLSCHAFT M.B.H. |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/153;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30;H01J3/12 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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