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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH01197385(A)
申请公布日期
1989.08.09
申请号
JP19880024330
申请日期
1988.02.03
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
MINEMOTO TAKASHI;MATSUDA KAORU;KAMATA OSAMU;ISHIZUKA SATOSHI
分类号
H01L21/208;C30B19/06
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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