发明名称 SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 JPH01197385(A) 申请公布日期 1989.08.09
申请号 JP19880024330 申请日期 1988.02.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MINEMOTO TAKASHI;MATSUDA KAORU;KAMATA OSAMU;ISHIZUKA SATOSHI
分类号 H01L21/208;C30B19/06 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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