发明名称 |
Elektrische Entladungskammer |
摘要 |
An electrical discharge cell having a plural wick heat pipe for preventing contamination without depleting the supply of vapor source material. |
申请公布号 |
DE2150756(A1) |
申请公布日期 |
1972.07.27 |
申请号 |
DE19712150756 |
申请日期 |
1971.10.12 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
TREVOR HODGSON,RODNEY |
分类号 |
F28D15/04;H01S3/03;H01S3/034;H01S3/041 |
主分类号 |
F28D15/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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