发明名称 一种镜面露点仪
摘要 一种用冷却液降低镜面温度观测气体露点的镜面露点仪,它有一个调节冷却液容器与镜面感温棒之间相对位置的升降机构,使镜面温度得到有效控制,以此提高露点测试的灵敏度与精确度。
申请公布号 CN2042594U 申请公布日期 1989.08.09
申请号 CN88217268.9 申请日期 1988.12.26
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 尹恩华
分类号 G01N25/02 主分类号 G01N25/02
代理机构 中国科学院专利事务所 代理人 卢纪
主权项 1、一种用冷却液降低镜面温度观测气体露点的镜面露点仪,其特征在于,它有一个调节冷却液容器与镜面的感温棒之间相对位置的升降机构。
地址 北京市海淀区清华东路