发明名称 | 一种镜面露点仪 | ||
摘要 | 一种用冷却液降低镜面温度观测气体露点的镜面露点仪,它有一个调节冷却液容器与镜面感温棒之间相对位置的升降机构,使镜面温度得到有效控制,以此提高露点测试的灵敏度与精确度。 | ||
申请公布号 | CN2042594U | 申请公布日期 | 1989.08.09 |
申请号 | CN88217268.9 | 申请日期 | 1988.12.26 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 尹恩华 |
分类号 | G01N25/02 | 主分类号 | G01N25/02 |
代理机构 | 中国科学院专利事务所 | 代理人 | 卢纪 |
主权项 | 1、一种用冷却液降低镜面温度观测气体露点的镜面露点仪,其特征在于,它有一个调节冷却液容器与镜面的感温棒之间相对位置的升降机构。 | ||
地址 | 北京市海淀区清华东路 |