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发明名称 FORMATION OF POLYCIDE WIRING LAYER
摘要
申请公布号 JPH01198049(A) 申请公布日期 1989.08.09
申请号 JP19880023234 申请日期 1988.02.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAO YOSHIHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/265;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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