A METHOD OF HOMOGENEOUS CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION,申请号EP19850101924-传众专利搜索

发明名称	A METHOD OF HOMOGENEOUS CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号	EP0167703(B1)	申请公布日期	1989.08.09
申请号	EP19850101924	申请日期	1985.02.22
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	MEYERSON, BERNARD STEELE;PLECENIK, RICHARD MICHAEL;SCOTT, BRUCE ALBERT
分类号	C23C16/44;H01L21/205;C23C16/455;C30B25/14	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
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