发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH01197951(A) 申请公布日期 1989.08.09
申请号 JP19880020307 申请日期 1988.01.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OTA KENJI;OGAWA YOJI;WADA KANJI
分类号 H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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