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经营范围
发明名称
SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH01197951(A)
申请公布日期
1989.08.09
申请号
JP19880020307
申请日期
1988.01.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
OTA KENJI;OGAWA YOJI;WADA KANJI
分类号
H01J37/141
主分类号
H01J37/141
代理机构
代理人
主权项
地址
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