| 发明名称 |
ELECTRIC CHARACTERISTICS EVALUATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01198045(A) |
申请公布日期 |
1989.08.09 |
| 申请号 |
JP19880023009 |
申请日期 |
1988.02.03 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
WADA TETSUNORI;MATSUZAWA KAZUYA |
| 分类号 |
G01R31/26;G01N27/00;H01L21/66;H01L29/00 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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