| 发明名称 |
HOLLOW CATHODE TYPE ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01197950(A) |
申请公布日期 |
1989.08.09 |
| 申请号 |
JP19880022065 |
申请日期 |
1988.02.03 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
FUKUI RYOTA;TAKAGI KENICHI;KIKUCHI RIICHI;TAKAYAMA KAZUO;TONEGAWA AKIRA |
| 分类号 |
H01J27/02;H01J27/08;H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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