| 发明名称 |
COOLING WATER SUPPLYING DEVICE FOR LSI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01196610(A) |
申请公布日期 |
1989.08.08 |
| 申请号 |
JP19880021804 |
申请日期 |
1988.02.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI KENJI;TORII TAKUJI;CHIAKI TAKAO;YAMASHITA TETSUHARU;ZUSHI SHIZUO |
| 分类号 |
H05K7/20;G05D23/00;H01L23/34;H01L23/46;H01L23/473 |
主分类号 |
H05K7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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