| 发明名称 |
PROCESSO E MECANISMO PARA A PRODUCAO DE DISPOSITIVOS SEMI-CONDUTORES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR8805978(A) |
申请公布日期 |
1989.08.08 |
| 申请号 |
BR19880005978 |
申请日期 |
1988.11.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SHUNJI YAMAUCHI;HIROKI MIEDA |
| 分类号 |
H01L21/56;B29C45/14;B29C45/17;(IPC1-7):H01L21/96 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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