发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXY METHOD
摘要
申请公布号 JPH01196117(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880019507 申请日期 1988.02.01
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 BUORUFUGANGU SHIYUTORUTSU;HORIKOSHI YOSHIHARU;NAGANUMA MITSURU
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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