| 发明名称 |
APPARATUS FOR AND METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY, AND MANUFACTURE OF DIFFRACTION GRATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01196123(A) |
申请公布日期 |
1989.08.07 |
| 申请号 |
JP19880021487 |
申请日期 |
1988.02.01 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
NISHIDA TOSHIO;TAMAMURA TOSHIAKI |
| 分类号 |
G02B5/18;H01L21/027;H01L21/30;H01S5/00 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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