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发明名称 MEASURING METHOD FOR FINE GRAIN IN SUPERPURE WATER
摘要
申请公布号 JPH01195340(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880019292 申请日期 1988.01.29
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;NOMURA MICRO SCI KK 发明人 KOSAKA YASUO;NIIDA TORU;ODA SHINJI
分类号 G01N15/10 主分类号 G01N15/10
代理机构 代理人
主权项
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