发明名称 FORMATION OF WIRING PART
摘要
申请公布号 JPH01196145(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880020716 申请日期 1988.01.30
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO YUKIYASU
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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