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发明名称
FORMATION OF WIRING PART
摘要
申请公布号
JPH01196145(A)
申请公布日期
1989.08.07
申请号
JP19880020716
申请日期
1988.01.30
申请人
SONY CORP
发明人
SUGANO YUKIYASU
分类号
H01L23/522;H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
地址
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