发明名称 METHOD OF SILICON OXIDE FILM GROWTH
摘要
申请公布号 JPH01196130(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880021773 申请日期 1988.02.01
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAKAMURA TAKAO
分类号 H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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