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发明名称
METHOD OF SILICON OXIDE FILM GROWTH
摘要
申请公布号
JPH01196130(A)
申请公布日期
1989.08.07
申请号
JP19880021773
申请日期
1988.02.01
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
NAKAMURA TAKAO
分类号
H01L21/316;H01L21/31
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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