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发明名称 MANUFACTURE OF SUPERCONDUCTOR CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01196184(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880018545 申请日期 1988.01.30
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 YAMADA YUTAKA
分类号 H01L39/24;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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