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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01194443(A)
申请公布日期
1989.08.04
申请号
JP19880019805
申请日期
1988.01.29
申请人
HITACHI LTD
发明人
UDA TAKAYUKI;TANAKA TAMOTSU;EMOTO YOSHIAKI
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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