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发明名称
DETECTING METHOD FOR MALFUNCTION POSITION
摘要
申请公布号
JPH01194431(A)
申请公布日期
1989.08.04
申请号
JP19880020490
申请日期
1988.01.29
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
URAOKA KOUJI
分类号
H01L39/16;H01L21/66
主分类号
H01L39/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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