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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01194434(A) 申请公布日期 1989.08.04
申请号 JP19880020740 申请日期 1988.01.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 DOI SUMIO
分类号 H01L21/822;H01L21/66;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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