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发明名称 SEMICONDUCTOR TESTER
摘要
申请公布号 JPH01193665(A) 申请公布日期 1989.08.03
申请号 JP19880017581 申请日期 1988.01.28
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 TAKENAKA KOICHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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