发明名称 VAPOR-PHASE PRODUCTION OF DIAMOND
摘要
申请公布号 JPH01192794(A) 申请公布日期 1989.08.02
申请号 JP19880013724 申请日期 1988.01.26
申请人 NACHI FUJIKOSHI CORP 发明人 KANDA KAZUTAKA;TAKEHATA SEIKI;YOSHIDA SHOICHI;YAMAGISHI KENICHIRO
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C30B29/04 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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