发明名称 |
VAPOR-PHASE PRODUCTION OF DIAMOND |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH01192794(A) |
申请公布日期 |
1989.08.02 |
申请号 |
JP19880013724 |
申请日期 |
1988.01.26 |
申请人 |
NACHI FUJIKOSHI CORP |
发明人 |
KANDA KAZUTAKA;TAKEHATA SEIKI;YOSHIDA SHOICHI;YAMAGISHI KENICHIRO |
分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C30B29/04 |
主分类号 |
C23C16/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|