发明名称 A positive-working photoresist composition
摘要
申请公布号 GB2212933(A) 申请公布日期 1989.08.02
申请号 GB19880027542 申请日期 1988.11.25
申请人 * TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人 HIDEKATSU * KOHARA;YOSHIYUKI * SATOH;MITSUO * YABUTA;YOSHIAKI * ARAI;NOBUO * TOKUTAKE;KOICHI * TAKAHASHI;TOSHIMASA * NAKAYAMA
分类号 C08L61/08;G03F7/022;G03F7/023 主分类号 C08L61/08
代理机构 代理人
主权项
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