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发明名称 METHOD FOR ETCHING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH01191788(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880013497 申请日期 1988.01.26
申请人 DAICEL CHEM IND LTD 发明人 NISHIDA YOSHIYUKI;SAYOU KAORI
分类号 C01B17/69;C23F1/00 主分类号 C01B17/69
代理机构 代理人
主权项
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